碳化硅换热器是基于第三代半导体材料——碳化硅(SiC)研发的高效传热设备，专为高温、高压、强腐蚀工况设计。其采用SiC陶瓷基体与微通道结构复合技术，突破传统金属换热器的性能极限，在热效率、耐久性和轻量化方面实现显著提升，适用于半导体制造、氢能源、航空航天等领域。
其结构主要包括换热管束和外壳。换热管束由多个碳化硅管组成，这些管道通常具有多孔结构，可以增加换热面积，提高换热效率。外壳则起到支撑管束和保护换热器的作用。
碳化硅换热器性能特点：
1、耐腐蚀
碳化硅的耐腐蚀性好。几乎对所有化学物质呈现惰性，使碳化硅成为理想的处理腐蚀性介质的材料。与石墨不同，碳化硅不含粘合剂，不会溶解在腐蚀性溶剂中。
2、耐结垢
与金属和石墨换热器相比，碳化硅的不沾属性可以最小化结垢倾向，降低结垢对于换热效率的影响。
3、耐高温/抗热震
无压烧结碳化硅，即使在超过1900摄氏度的气体中，热膨胀形变依然很小，能够稳定工作。由于其较高的导热系数和极低的热膨胀系数，可以适应热循环中的快速冷热交替，因此无压烧结碳化硅有非常强的抗热震能力。
4、硬度高/易清洗
无压烧结碳化硅是高硬度的换热管材质之一，它的密度超过98%的理论值，是不透并且不含任何浸渍剂。同时，这样极限的硬度，也意味着在高纯度应用中不会有任何的污染。事实上，每一根换热管出厂前都经过186Bar的压力测试因此，换热管不光可以用化学方法清洗也可以使用机械方法清洗，甚至直接用喷砂清洗。
5、导热好
碳化硅的导热性非常好，导热系数为125.6w/mK，接近于不透性石墨。和其他耐腐蚀材料对比，碳化硅的导热系数相当于钽的2倍，不锈钢的5倍，哈氏合金的10倍，玻璃的15倍，是耐腐蚀材质中导热系数高的。
6、耐高温/抗热震
无压烧结碳化硅，即使在超过1900摄氏度的气体中，热膨胀形变依然很小，能够稳定工作。由于其高导热系数和极低的热膨胀系数，可以适应热循环中的快速冷热交替，因此无压烧结碳化硅有非常强的抗热震能力。
7、硬度高/易清洗
无压烧结碳化硅是硬度最高的换热管材质之一，它的密度超过98%的理论值，是不透并且不含任何浸渍剂。同时，这样极限的硬度，也意味着在高纯度应用中不会有任何的污染。事实上，每一根换热管出厂前都经过186Bar的压力测试因此，换热管不光可以用化学方法清洗也可以使用机械方法清洗，甚至直接用喷砂清洗。
典型应用场景：
1. 半导体制造
晶圆清洗系统：实现300℃清洗液与冷却水的快速热交换。
光刻机温控：±0.1℃精密控温，满足EUV光刻工艺要求。
2. 氢能源系统
燃料电池堆散热：耐受-40℃冷启动与800℃峰值温度。
氢液化装置：多级换热效率>95%，功耗降低20%。
3. 航空航天
火箭发动机推力室冷却：瞬态散热能力提升300%。
卫星热控系统：轻量化设计满足发射载荷限制。
4. 工业节能改造
高温余热回收：回收炼钢炉、玻璃窑炉废热，热效率>85%。
蒸汽冷凝系统：传热系数提升至传统管壳式的5倍。
